樣品預處理系統的操作原理：

　　由特殊高分子材料制成的過濾膜A和過濾膜B，被安放在同一個不銹鋼容器中，并被直接浸入到采樣水中。過濾膜A和過濾膜B由各自的樣品吸入傳輸管，與控制器中的蠕動泵A和蠕動泵B相連。

 

　　兩個蠕動泵輪流交替工作；在某一蠕動泵工作期間，樣品經過相應濾膜的過濾，被抽提到控制器中，進而被傳輸到后續的水質在線分析儀中。

 

　　在系統的整個工作過程中，控制器內部的空氣壓縮機連續不斷的工作，產生的壓縮空氣經過兩根空氣傳輸管，被傳送到每個濾膜底部的排氣孔處；在其中一個蠕動泵停止工作期間，吸附在相應濾膜表面上的懸浮顆粒，從濾膜表面上被清除掉。從而保證可以連續不斷的工作。

 

　　樣品預處理系統的使用流程：

　　啟動真空泵使腔體內達到設定真空值，待腔內真空度達到某一高真空后，開始沖入氮氣，然后再進行真空操作，再次充入氮氣，經過反復真空充氮，可提高箱體內潔凈度，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分，然后再次開始抽真空，沖入HMDS氣體，在達到設定時間后停止充入，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當保持時間達到設定值后，再次開始抽真空，沖入氮氣，完成整個作業過程。